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AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH

axplorer S - das kompakte PVD-System für die Kleinserie.

 

PVD inhouse.

Das axplorer S – System ist eine kompakte, individuell an Ihre Anforderungen angepasste Vakuumbeschichtungsanlage für die Kleinserienproduktion, basierend auf PLD- und Sputterquellen. Diese kleine kostengünstige Beschichtungsanlage ermöglicht Ihnen die wirtschaftliche Beschichtung von Bauteilen mit kleinen Jahresstückzahlen in Ihrem Hause unabhängig von den Lieferzeiten externer Lohnbeschichter.

Eigenschaften axplorer S

Beschichtungskammer: 600 x 600 x 600 mm³ mit großer Beladungstür

Substratgrößen: 1" – 6"

Vakuumkomponenten - ölfreier Pumpstand - Druckmesszellen

Beschichtungsquellen: PLD-, Sputter-,Plasma-Modul

PLD-Modul bestehend aus - Excimer Laser - Optische Komponenten - Gekapselter Strahlengang - Targetwechlsersystem (6 Targets)

Anzahl der Prozessgase nach Kundenwunsch

Automatisierung: SPS-Steuerung zur vollständig automatisierten Prozessführung inkl. Archivierung aller Prozessdaten und -werte

Medienanschlüsse

Standfläche des Gesamtsystems: ca. 1m x 2,5 m

optional: elektropolierte Innenwände

optional: Heizersystem inklusive Temperatursensoren

optional: Beschichtungsprozesse

optional: Netzwerk-Anschluss für Fernwartung