Bei der gepulsten Laserablation
(pulsed laser deposition, PLD) wird hochenergetisches und kurzwelliges
(UV) Licht eingesetzt, um das Ausgangsmaterial (Feststofftarget) in die
Gasphase und darüber in Form einer Schicht auf das zu beschichtende
Werkstück (Substrat) zu bringen. Damit zählt die Laserablation auch zur
Klasse der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren (PVD-Verfahren).
Der Einsatz von Lasern in der Beschichtungstechnik bietet dabei eine Vielzahl von Vorteilen
gegenüber den klassischen PVD-Verfahren (Verdampfen, Sputtern) und
profitiert auch von der Weiterentwicklung der UV-Lasertechnologie in den
vergangenen 10 Jahren. Dadurch stehen mittlerweile hohe Laserenergien
(bis 1 J/Puls) und Repetitionsraten (bis 300 Hz) für eine
Schichtabscheidung in Entwicklung und Produktion zur Verfügung.
Eigenschaften PLD
höchste Flexibilität hinsichtlich der Beschichtungsmaterialien
auch komplexe Materialzusammensetzungen beschichtbar
geringe Beschichtungstemperaturen: ab Raumtemperatur
Realisierung von Multischichtsystemen
hohe Targetausbeute
kleine, kostengünstige Targets
Materialabtrag jenseits des thermodynamischen Gleichgewichts
hohe Prozessreinheit
umweltfreundliches Verfahren
Reaktiv- und InertgasprozesseVerfahren
PLD Beschichtungsmaterialien
Oxide
HTSL
Ferro-/Piezo-/Dielektrika
CMR-Materialien
Optische/ Elektrooptische Materialien
Biokompatible Materialien
Carbide / Nitride
Kohlenstoffschichten
Hartstoffschichten
tribologische Schichten
Nanokomposite
Polymere
Fluor-Polymere
hochdichte Polymere
Ferrite
Granate
Spinell
Halbleiter
III-V Halbleiter
II-VI Halbleiter
Metalle
Edelmetalle
Metalle / Legierungen