PLD - the most flexible PVD technology.

 

Bei der gepulsten Laserablation (pulsed laser deposition, PLD) wird hochenergetisches und kurzwelliges (UV) Licht eingesetzt, um das Ausgangsmaterial (Feststofftarget) in die Gasphase und darüber in Form einer Schicht auf das zu beschichtende Werkstück (Substrat) zu bringen. Damit zählt die Laserablation auch zur Klasse der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren (PVD-Verfahren). Der Einsatz von Lasern in der Beschichtungstechnik bietet dabei eine Vielzahl von Vorteilen gegenüber den klassischen PVD-Verfahren (Verdampfen, Sputtern) und profitiert auch von der Weiterentwicklung der UV-Lasertechnologie in den vergangenen 10 Jahren. Dadurch stehen mittlerweile hohe Laserenergien (bis 1 J/Puls) und Repetitionsraten (bis 300 Hz) für eine Schichtabscheidung in Entwicklung und Produktion zur Verfügung.



Eigenschaften PLD

höchste Flexibilität hinsichtlich der Beschichtungsmaterialien

auch komplexe Materialzusammensetzungen beschichtbar

geringe Beschichtungstemperaturen: ab Raumtemperatur

Realisierung von Multischichtsystemen

hohe Targetausbeute

kleine, kostengünstige Targets

Materialabtrag jenseits des thermodynamischen Gleichgewichts

hohe Prozessreinheit

umweltfreundliches Verfahren

Reaktiv- und InertgasprozesseVerfahren

PLD Beschichtungsmaterialien

Oxide

HTSL
Ferro-/Piezo-/Dielektrika
CMR-Materialien
Optische/ Elektrooptische Materialien
Biokompatible Materialien

Carbide / Nitride

Kohlenstoffschichten Hartstoffschichten
tribologische Schichten Nanokomposite

Polymere

Fluor-Polymere
hochdichte Polymere

Ferrite

Granate
Spinell

Halbleiter

III-V Halbleiter
II-VI Halbleiter

Metalle

Edelmetalle
Metalle / Legierungen